EUV光刻机也是历史上最复杂、最昂贵的机器之一。《芯片浪潮：纳米工艺背后的全球竞争》一书中有描述：一台EUV光刻机的零件超过10万个，重达180吨，需要用40个集装箱来运输，光刻机的安装调试都要超过一年时间。阿斯麦在刚开始时只能年产二三十台EUV光刻机，到目前也不过增加到四五十台。

文章来源：学习那些事原文作者：赵先生本文主要介绍光刻机的分类与原理。光刻机分类光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类，光刻设备有前道和后道之分。前道光刻机包括芯片光刻机和面板光刻机。面板光刻机的工作原理和芯片光刻机相似，但是由于面板光刻机针对的是 ...

EUV光刻机产能不足，很大一部分原因是光学镜头的供货不足。蔡司公司是EUV光刻镜头的唯一供应商。电子束光刻采用电子源发出电子束而并非光源，因此电子束光刻技术解决的是光刻机对光学镜头的依赖。

那么，全世界只有两个国家掌握高端光刻机，这种光刻机的科技含量已经相当于原子弹，甚至比相应原子弹的制造还要难。 如今高科技产品几乎每个人手中都有一部智能手机，其实我们只能看到它表面的大屏幕看起来很先进，小巧轻便携带非常方便。

智通财经APP获悉，方正证券发布研报称，2021-2023年全球光刻机市场规模约为145/164/244亿欧元。光刻机作为最尖端半导体设备品类，竞争格局呈现极高的集中度，且越高端的机型市场集中度越高。其本身是一项极其复杂的系统工程，光刻机的全产业链国 ...