25mm行程。- 无摩擦力静压轴承作动器， 静压支撑台面系统。- 专利的ICCU ( Intergrated Cross Coupling Unit-集成式多轴耦合单元)，减少了各轴间的交叉影响，提高了系统的相应精度。满足正弦、随机、正弦随机叠加、随机叠加、锯齿、冲击、瞬态、波形再现等各种波形 ...