日本网友:“为什么印度人总觉得能打败东方大国?” ...
EUV光刻机产能不足,很大一部分原因是光学镜头的供货不足。蔡司公司是EUV光刻镜头的唯一供应商。电子束光刻采用电子源发出电子束而并非光源,因此电子束光刻技术解决的是光刻机对光学镜头的依赖。