准分子激光(引)(英文:Excimer laser)是指受到电子束激发的惰性气体和卤素气体结合的混合气体形成的分子向其基态跃迁时发射所产生的激光。 准分子激光属于冷激光,无热效应,是方向性强、波长纯度高、输出功率大的脉冲激光,光子能量波长范围为157 ...
准分子不是稳定的分子,是在激光混合气体受到外来能量的激发所引起的一系列物理及化学反应中曾经形成但转瞬即逝的分子,其寿命仅为几十毫微秒, 准分子激光 是一种 脉冲激光 ,因谐振腔内充入不同的 稀有气体 和卤素气体的混合物而有不同波长的激光 ...
摘要 介绍了准分子的基本能级结构、光谱特性及产生激光的激励方式。简要回顾了准分子激光及实用准分子器 件的发展历史。着重阐述了放电激励准分子器件的相关技术,如大能量与大功率技术、高重复频率技术、光束控制 技术和激光电源技术等。
与国外先进水平相比,我国高端准分子激光技术仍存在较大差距。本文首先简要介绍了准分子激光的特点和发展历史,然后分析了国内外准分子激光技术及相关典型应用的发展现状及需求,之后提出了我国准分子激光技术发展的主要问题。
准分子激光是大功率输出的深紫外(duv)波段 激光光源,具有波长短、光子能量高、脉冲宽度窄、峰值 功率高等优势,在工业、医疗和科研等领域显示出巨大 的应用价值[1]。 准分子是一种在激发态复合成分子, 而在基态离
提要 本文介绍近年来高脉冲能量、高脉冲功率和高平均功率准分子激光器的发展以及在科学研 究、工业和医学方面的应用。 关键词准分子激光 准分子是一种在激发态复合成分子,而在基态离解成原子的不稳定缔合物,激光跃迁发生
准分子激光器及应用产业化基地,建立国产化准 分子激光器及准分子激光工业和医疗设备产品品 牌,打破国外准分子激光器产品的垄断。 多年来,安徽光机所承担(主持或参 与)了很多研究开发项目,涵盖了准分子 激光器在工业、医疗和科研等领域的重要
2019年10月5日 · 准分子一词 (eng. 准分子, 兴奋的二聚体) 代表激发二聚体,是指用作工作介质的材料类型 激光的. 准分子是由两种类型形成的二聚体或异二聚体短寿命分子 原子数 , 至少其中之一在 电子 兴奋状态.
准分子激光器,以准分子为工作物质的一类气体激光器件。常用相对论电子束(能量大于200千电子伏特)或横向快速脉冲放电来实现激励。当受激态准分子的不稳定分子键断裂而离解成基态原子时,受激态的能量以激光辐射的形式放出。
2022年4月30日 · 目前,已攻克了一系列高性能准分子激光核心关键技术,实现了高重频(kHz)、大能量(mJ 级)、窄线宽(亚 pm)准分子激光的稳定运转,研发出第一代光刻用准分子系统原理样机,目前正在进行技术提升和面向产品的开发,并初步建立了我国自主的知识产权 ...